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时间:2019-08-12 21:56来源:未知 作者:admin 点击:
单晶硅棒正在线晶线衡量_电子/电道_工程科技_专业原料。北京 北方 华创 真 空技 术有 限公 司 ■ 陈世 斌 摘 要 :单 晶炉非接触式硅棒 晶线的衡量过 程需永远正在高温负压 的处境

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北京 北方 华创 真 空技 术有 限公 司 ■ 陈世 斌 摘 要 :单 晶炉非接触式硅棒 晶线的衡量过 程需永远正在高温负压 的处境 中举办,针对此种外象,本 文 供应 了一种单 晶炉非接触式硅棒晶线衡量步骤,该步骤可检测 出硅棒正在高温负压 的处境 中进 行孕育 时是否存正在晶线。 要害 词:单 晶硅坐褥;晶线 短序 直 拉 单 品修设 中 是将 原 料 众晶硅 块 放入 石 英 坩埚r { 1 , 正在 单 晶炉 巾加 热融 化 ,肛交女神,将籽 晶插入 液而 , 等 待 线 现 后 最先 放 肩 、等 径 生 长。300部伦理,正在 这 一 过 程 中, 固态 硅 与液 态 硅 之 问 的 同 液 界面 会 有 一 圈很 亮 的 光 圈 , 以光 圈 上 的 晶线 是 否存 正在 来 判 定 该 晶棒 是 单 晶硅 还 是 众 晶硅 ,操 作 人 员只 能 隔 肴 观 察 窗 正在 单 晶炉 外 部 用 肉眼 观 察 光 圈 品线 是 否 存 正在 、老头操, 已孕育 的单 晶硅 是 否 断 线 变 成 众 品硅 等 。正在 整 个 生 产 历程 中 晶线 是 否 存 正在 都 是靠 经 验 丰 富 的 图 1 晶线 检 测 步骤 不 意 图 正在 成 像 图上 确 定 晶 线 特 征像 素 值 J p ,并 正在 所 述 矩 形 线 框 的左 下 角 设 置 扫 描 结 束 点 。置完成设 置 完 成后 ,正在 所 述矩 形线 框 上 采 用从 右 到 左 的扫 描 法 从起 始 点 A逐 行 扫 描 ,遇 到 光 圈 则返 回下 一行 扫 人 工 肉眼观 察 , 劳动 强度 比力 大 , 人工 本钱 比力 高 。 本 文提 出了一种 新 的测 量方 法 。 1 实 验 1 。后线过设 1 实行 方 法 对 于 晶 线 的 观 察 ,亚洲第一网在线 使 用 CcD 相 机 对 正 正在 描 ,一 直 到所 设 置 的 完结 点 。 1 . 2实行措施 维系 图 l 和 实例 ,对 本 实行 的具 体 推行 步 骤 生 长 的 单 晶 硅 棒 进 行 实 时 拍 摄 , 获 取 图 像 画 面 , 正在 获 取 拍 摄 图 像 画 面 之 后 , 使 用 矩 形 线 框 正在 显 示 器 显 示 的 当 前 图 像 上 圈 出 包 含 晶 线 的 矩 形检 测 区域 , 以矩 形 线 框 的左 J 二 角 D 为 原 点 ,正在 矩 形 线 框 的 右 上 角 设 置 扫 描 起 始 点 , 如 图 l所 示 。 收稿 日期 :2 0 1 7 - 0 6 — 0 l 作 进 一 步 周密 描 述 。 第一步:正在最先拍摄 图像前 ,运用矩形线框 正在 显示 器 显 示 的 此刻 图像 上 圈 出要 检 测 的包 含 晶 线 的矩 形 区 域 ,正在 矩 形 线 框 的右 上 角 设 置扫 描 起 始 点 。 第二 步:正在 成 像 图 上设 定 晶线 特 征 像素 值 通 信作家 :陈世斌 ( 1 9 8 3 一) ,本科 、电气工程 师,要紧从 事单晶设 备 自愿化方 面的研 究。5 2 2 0 8 6 1 0 @q q . c o m SoL AR E NERGY 0 6 / 2 0 1 7 SO L ARENER GY E瓢圈 技艺 j 黻 品 譬【 程 2 结 果 与 分 析 匀 < 柄 系f J 、 J ‘ 币 u 分刊 f j 字 } ¨牛 f l f _ J 【 7 l i i ‘ 决 定, 为 形线I 的 I 们O I 1 1 [ / 』 J l 1 所 , 每 ‘ 个 像 素值 P 咳范 都 仃I } ‘ 个 j 之刈 ’ 像 崇址 , J 光后 洲 , J 他 ,范 l l 1 0 ~2 5 5 之 i i , 无I 1 1 f ; f c j 1 、 ‘ 1 光 线 ; I i 寸值 为 2 5 5 , 光后 f ¨ 时f i f 约为 3 。所 州的特 7 i l - 值就 址f I ^ 线 t t _ c 度 , 舣 6 ( ) ~2 2 0之 川 ,( x i i 4 <  ̄ I 机 光 为 1 . 8倍 时 ,像 素 仇 P约 为 } { 0 。 应 的^ ^ I 标 : 位 于 / f 边 的特 } I l 像崇 , ) 所对J 、 I ' l " J 、 坐f , J 值 就 是 晶线 的 D, f J 边 的特 f i l 步: 所述 彤线 的 / 卜于 臼 没 ¨ 扪 像 粜 P所 埘 的 、 I 怀 他就足 - ‘ ” l l 线 的最 低 点 ( ’ 。 } ‘ 从 光i j ÷ 上 i } i . 『 ’ 点I 内f I I ’ I 线、 t i / i 『 0 艘 、 :f c l I 果X - O . 5 ml T l , 则农 陔I 线 爪 断 线 ,此 时 I I 牛 K的硅 棒 为单 I ” : 细 I 果 V - O I 1 1 I 1 1 . 则 i l ) J 幺 I I i I B ,免费网站v在看【 !q播幼幼电影? l J‘ 个¨ 扪 蒯 期 椭 剑 B点 便 结 。 第 U 步 :住 所 述 形线 把 f 采f i J 从 右 到 的 t - } t Y i 法 从起 始 点 . 0逐 扫 描 ,v部电影院邋 剑 设 定的 光 返I I I l 卜 一 仃¨描,欧韩日本一道在线 。 “到 结 束

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